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微电子所国家创新研究群体项目通过结转验收

微电子所国家创新研究群体项目通过结转验收

  近日,根据国家自然科学基金委信息科学部通知,中国科学院微电子研究所、中科院院士刘明牵头的“新型微电子器件集成的基础研究”创新群体顺利通过结转检查和评审。 

  “新型微电子器件集成的基础研究”创新群体于2012年获批为国家创新研究群体,201拼搏在线3年至201拼搏在线5年展开第一期研究,在前瞻性基础科学研究和部分研究成果转化应用方面成绩显著。期间完成了新型微电子材料和结构、基于新型微电子器件的电路设计、集成加工技术及应用等三个方面的计划任务,建立了阻变存储器(RRAM)的物理模型,提出了RRAM的基础理论和关键技术方法,实现了高性能RRAM器件及其三维集成,在国际上产生了重要影响,多项工作被列入2013ITRS(国际半导体发展路线图,被认为是微电子技术发展的风向标)。拓展了新型闪存材料和结构体系,提出了可靠性表征新技术、存储和失效模型,为存储器产业发展提供了关键理论和技术。在企业生产线上开发了新型存储材料/集成工艺/器件/可靠性/电路等成套技术,相关专利和技术已经转移到企业。 

  国家自然科学基金委检查组于928日组织对“新型微电子器件集成的基础研究”进行了结转检查和评审,听取了关于创新群体的研究背景、工作进展及创新性成果、学术交流和人才培养等方面的工作汇报,审议了群体延期资助的理由,对该群体的研究成果给予肯定,一致建议对该群体给予延期资助,并对后续研究工作提出期望会。